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電子束光刻膠E-Beam 電子束光刻膠 :HSQXR-1541-006, Z520, PMMA, 。EBL6000系列,Ma-N2400系列。納米壓印膠:mr-NIL 6000E, mr-L 900M, mr-UVCur21。光固化膠:Ormo 系列。
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