VPG+800/VPG+1100/VPG+1400大尺寸超高速圖形發生器TheMulti-PurposeVolumePatternGenerators光學系統上的創新與突破-平行化曝光制程技術制版系統VPG+大尺寸曝光系統適合用于封裝,半導體,顯示器,彩色濾光片,LED和觸摸屏等相關掩膜版制作的應用
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VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400
大尺寸超高速圖形發生器
The Multi-Purpose Volume Pattern Generators
光學系統上的創新與突破-平行化曝光制程技術制版系統
VPG +大尺寸曝光系統適合用于封裝,半導體,顯示器,彩色濾光片,LED和觸摸屏等相關掩膜版制作的應用。
VPG +系統支持所有工業等級數據化格式,并提供Mura優化功能,呈現的CD均勻性和分辨率。
VPG + 1400是我們大的系統,特別針對顯示器領域和FPD的應用,例如TFT數組和彩色濾光片以及ITO。
VPG + 1400具有高精度的設備架構,分辨率低至1.2 nm的差分干涉儀及的Mura校正功能。