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日立SU5000高新熱場式場發射掃描電鏡電子槍ZrO/W肖特基式場發射電子槍加速電壓0
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日立 SU5000高新熱場式場發射掃描電鏡
電子槍
ZrO/W 肖特基式場發射電子槍
加速電壓
0.5~30kV
著陸電壓
0.1~2kV
分辨率
2.0nm@1kV 1)、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式 2)
放大倍率
底片倍率:10~600000倍、顯示倍率:18~1000000倍
5軸馬達臺
X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:3~65mm、T:-20~90°、R:360°
*1:減速模式是選配項 *2:低真空模式是選配項