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美國HarrichPDC-MG高集成度等離子清洗機技術參數(shù):1
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美國 Harrich PDC-MG 高集成度等離子清洗機
技術參數(shù):
1.整機規(guī)格:500×300×300(長×寬×高)mm
2.整機重量:35 Kg
3.清洗艙規(guī)格:Φ165×L210 mm (耐熱玻璃)
4.清洗艙有效容積:4.5 L
5.輸入電源:220 V/50 Hz
6.整機輸入功率:400 W
7.射頻輸出:0~150 W(連續(xù)可調)
8.射頻頻率:13.56 MHz
9.數(shù)字式定時器范圍:0~99.99 min
10.極限真空度:60 Pa
11.二路浮子流量計:0.2~1.5L/min量程,方便二種氣體按比例混合
12.觀察窗:觀察清洗倉內輝光狀態(tài)
13.常用工作氣體:空氣、氬氣、氮氣或混合氣體
14.VRD-8型單相真空泵
arlen.lin@szkesda.com
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