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美國RKD化學開封機EliteEtch7000機器尺寸(mm):190x320x305溫度范圍1)發煙硫酸:25C-250C2)發煙硝酸:25C-90C3)混酸:25C-100C(EliteEtch)4)混酸():10C-100C(EliteEtchCu)抽酸流量:1-8ml/minute蝕刻頭組件:固定式碳化硅(保固3年)N2氣體支持2
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美國 RKD 化學開封機 Elite Etch 7000
機器尺寸(mm) : 190 x 320 x 305
溫度范圍
1) 發煙硫酸: 25C - 250C
2) 發煙硝酸: 25C - 90C
3) 混酸: 25C - 100C (Elite Etch)
4) 混酸():10C -100C (Elite Etch Cu)
抽酸流量 : 1-8 ml / minute
蝕刻頭組件: 固定式碳化硅(保固3年)
N2 氣體支持 2.0 lpm (安全蓋子+泵)氣壓為60-70psi
安全
1) 自動顯示錯誤信息
2) 設置EMO緊急停止按扭
3) 漏酸偵測在設備內部和瓶子BOX里
4) 采用光纖感應蓋子的密合度(不是耗材)
5) 所有管路一體化設計,雙層保護套,并且酸瓶盒配有蓋子
廢酸瓶 : 1個
密封圈 : 圓型(不是耗材)
固定樣品方式: 子蓋下以后,自動從上到下,直接固定樣品