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NANO-MASTER提供兆聲單晶圓&掩模清洗(LSC)系統,用于的無損兆聲清洗。可以適用于易受損的帶圖案或無圖案的基片,包含帶保護膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達到化的清洗效果,兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。NANO-MASTER的技術確保了聲波能量均勻分布到整個基片表面,通過分布能量的支持的清洗,同時保證在樣片的損傷閾值范圍內。
聯系電話:
LSC是占地面積較小,并且很容易安裝在空間有限的超凈間中。該系列設備都具有出眾的清洗能力,并可用于非常廣泛的基片。
LSC-5000 (AD)全自動兆聲大基片濕法去膠系統應用:
光刻膠去除/剝離
硅片
藍寶石片
圓框架上的芯片
顯示面板
ITO涂覆的顯示屏
帶保護膜的分劃版
掩模版空白部位
掩模版接觸部位
帶保護膜/不帶保護膜的掩模版
LSC-5000(AD)全自動兆聲大基片濕法去膠系統的特點:
支持450mm直徑的圓片或15"x15"方片
帶兆聲、DI、刷子、熱DI、高壓DI、熱氮、化學試劑滴膠臂的大腔體
帶化學試劑滴膠的刷子轉速可調節
帶LABVIEW軟件的PC全自動控制
觸摸屏用戶界面
機械手上下載片,帶EFEM以及SMIF界面
安全互鎖及警報裝置
30"D x 26"W 的占地面積
LSC-5000(AD)全自動兆聲大基片濕法去膠系統選配項:
化學試劑傳輸模塊
Piranha溶液清洗
臭氧化DI水(20ppm的O3)
氫化的DI水
高壓DI水
熱DI水
溶劑和酸分離排放
IR紅外加熱
DI水循環機
耐火立柜